平面型发受光元件

摘要

本实用新型的平面型发受光元件,在一个衬底上制设一个外延层,衬底上开设有一个凹洞,凹洞内形成一个透镜面,该透镜面接近外延层中用以产生光线的主动区。其中,所述透镜面可为一个凸面形状的聚光面。其中,所述透镜面可为一个凹面形状的发散光面。其中,所述透镜面可设在所述凹洞的底部。其中,所述透镜面是在衬底上蚀刻所述凹洞时一体形成。本实用新型的平面型发受光元件中,主动区离透镜面较近,所以主动区所发射出的光线可立即由聚光面聚焦,达到高聚光效能,且在本结构中不需改变衬底的厚度,对于切割加工而言,能更确保晶粒的完整性,可提高产品的合格率。

主权项

1.一种平面型发受光元件，在一个衬底上制设一个外延层，其特征在于，衬底上开设有一个凹洞，凹洞内形成一个透镜面，该透镜面接近外延层中用以产生光线的主动区。