发明名称 | 压力传感器 | ||
摘要 | 一种由安装在支承壁(10)上并且设有电阻单元的芯片构成的压力传感器,所述电阻单元由条形导体组成,并且安排在基片(12)的下侧(13)所述的下侧面对支承壁(10)。电阻单元位于一个薄膜(18)上。一个凹陷(19)位于所述膜的后面。芯片(11)借助于弹性的中间层(26)固定在支承壁(10)上。芯片的电部件保护性地安排在基片(12)和支承壁(10)之间。本发明提供一种没有附加的壳的极为扁平的传感器单元。所述传感器甚至可以测量导电媒介中的压力。 | ||
申请公布号 | CN1354830A | 申请公布日期 | 2002.06.19 |
申请号 | CN99813968.8 | 申请日期 | 1999.11.17 |
申请人 | 因派乐心血管技术股份公司 | 发明人 | 索尔斯坦·西斯;克里斯托夫·尼克斯 |
分类号 | G01L9/06 | 主分类号 | G01L9/06 |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 朱登河;顾红霞 |
主权项 | 1.一种压力传感器,含有由条形导体(15)构成并且安排在一个基片(12)上的电阻单元(14)、一个基片(12)附着于其上的支承壁(10)和一个在电阻单元(14)对面的压力传送孔(27),基片(12)面对带有其上设有电阻单元(14)的侧面(13)的支承壁(10),并且一个弹性的中间层(26)安排在支承壁(10)和基片(12)之间,其特征在于,压力传送孔(27)设在支承壁(10)中,并且面对基片(12)的平面侧。 | ||
地址 | 德国亚琛 |