发明名称 压力传感器
摘要 一种由安装在支承壁(10)上并且设有电阻单元的芯片构成的压力传感器,所述电阻单元由条形导体组成,并且安排在基片(12)的下侧(13)所述的下侧面对支承壁(10)。电阻单元位于一个薄膜(18)上。一个凹陷(19)位于所述膜的后面。芯片(11)借助于弹性的中间层(26)固定在支承壁(10)上。芯片的电部件保护性地安排在基片(12)和支承壁(10)之间。本发明提供一种没有附加的壳的极为扁平的传感器单元。所述传感器甚至可以测量导电媒介中的压力。
申请公布号 CN1354830A 申请公布日期 2002.06.19
申请号 CN99813968.8 申请日期 1999.11.17
申请人 因派乐心血管技术股份公司 发明人 索尔斯坦·西斯;克里斯托夫·尼克斯
分类号 G01L9/06 主分类号 G01L9/06
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 朱登河;顾红霞
主权项 1.一种压力传感器,含有由条形导体(15)构成并且安排在一个基片(12)上的电阻单元(14)、一个基片(12)附着于其上的支承壁(10)和一个在电阻单元(14)对面的压力传送孔(27),基片(12)面对带有其上设有电阻单元(14)的侧面(13)的支承壁(10),并且一个弹性的中间层(26)安排在支承壁(10)和基片(12)之间,其特征在于,压力传送孔(27)设在支承壁(10)中,并且面对基片(12)的平面侧。
地址 德国亚琛