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发明名称 Shutter
摘要
申请公布号 GB0210660(D0) 申请公布日期 2002.06.19
申请号 GB20020010660 申请日期 2002.05.10
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED 发明人
分类号 C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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