发明名称 Unibody crucible
摘要 <p>A unibody, monolithic, one-piece negative draft crucible (40) for an MBE effusion cell. The crucible maximizes capacity, uniformity and long term flux stability, and minimizes oval defects, depletion effects, and short term shutter-related flux transients. <IMAGE></p>
申请公布号 EP1215307(A2) 申请公布日期 2002.06.19
申请号 EP20010126382 申请日期 1996.05.03
申请人 APPLIED EPI, INC. 发明人 COLOMBO, PAUL E.;DONADIO, ROBERT F.
分类号 C30B23/08;C04B35/583;C23C14/24;C23C16/01;C23C16/34;C30B23/06;F27B14/10;F27D1/16;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/06 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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