| 发明名称 | 电弧蒸发器,驱动电弧蒸发器的方法及离子电镀设备 | ||
| 摘要 | 一种电弧蒸发器,包括:阳极;作为阴极的蒸发源电极;以及用于产生穿过阳极和蒸发源电极的AC方波电弧电流的电流控制单元。 | ||
| 申请公布号 | CN1354275A | 申请公布日期 | 2002.06.19 |
| 申请号 | CN01137616.3 | 申请日期 | 2001.09.26 |
| 申请人 | 新明和工业株式会社;西铁城时计株式会社 | 发明人 | 泷川志朗;能势功一;小泉康浩;堀崇展;宫行男 |
| 分类号 | C23C14/24 | 主分类号 | C23C14/24 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种电弧蒸发器，其包括：阳极；作为阴极的蒸发源电极；以及用于产生穿过阳极和蒸发源电极的AC方波电弧电流的电流控制单元。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||