发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 SG89410(A1) 申请公布日期 2002.06.18
申请号 SG20010004320 申请日期 2001.07.17
申请人 HITACHI ULSI SYSTEMS CO., LTD.;HITACHI, LTD. 发明人 HIDENORI SATO;YOSHIYUKI HAYASHI;TOSHIO ANDO
分类号 H01L21/205;C23C16/34;H01L21/318;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):C23C16/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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