发明名称 TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 SG89379(A1) 申请公布日期 2002.06.18
申请号 SG20010001045 申请日期 2001.02.21
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KAZUHIKO OOSHIMA
分类号 H01L21/02;H01L21/00;(IPC1-7):B05C5/00;C23C16/455;H01L21/027 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址