发明名称 PROCESS FOR FORMING A SILICON-GERMANIUM BASE OF A HETEROHUNCTION BIPOLAR TRANSISTOR
摘要
申请公布号 SG89368(A1) 申请公布日期 2002.06.18
申请号 SG20010000017 申请日期 2001.01.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 FENG-YI HUANG
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/737;(IPC1-7):H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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