| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM UNTERSUCHEN UND/ODER ZUM MODIFIZIEREN VON OBERFLÄCHENSTRUKTUREN EINER PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT218752(T) |
申请公布日期 |
2002.06.15 |
| 申请号 |
AT19990971965T |
申请日期 |
1999.10.25 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
BRUENGER, WILHELM |
| 分类号 |
G01N23/225;G01N1/28;H01J37/02;H01J37/20;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/02 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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