| 发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION D'UN DESSIN LITHOGRAPHIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2778990(B1) |
申请公布日期 |
2002.06.14 |
| 申请号 |
FR19990006509 |
申请日期 |
1999.05.21 |
| 申请人 |
GUROVICH BORIS ARONOVICH |
发明人 |
GUROVICH BORIS ARONOVICH;DOLGY DMITRY LOSIFIVICH;VELIKHOV EVGENY PAVLOVICH;KULESHOVA EVGENIA ANATOLIEVNA;ARONZON BORIS ARONOVICH;MEILIKHOV EVGENY ZALMANOVICH;RYAZANTSEV EVGENY PETROVICH;RYLKOV VLADIMIR VASILIEVICH;PRIKHODKO KIRILL EVGENIEVICH;DOMANTOVSKY ALEXANDR GRIGORIEVICH |
| 分类号 |
G03F9/00;G03F7/20;H01J37/317;(IPC1-7):G03G13/045;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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