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Eine Vorrichtung zur gleichförmigen Abscheidung von Material auf einem Substrat, welche aufweist einen länglichen Behälter mit im wesentlichen gleichförmiger Breite und einer Öffnung an einem Ende, einen Sekundärzylinder zum Halten eines innerhalb des Behälters angebrachten Substrats, ein poröses Diaphragma mit einer nicht-gleichförmigen Anordnung von Aperturen, die über der Öffnung angebracht ist, eine dem Diaphragma benachbarte Vorkammer mit einem bestimmten Volumen, wobei das Diaphragma eine Schnittstelle zwischen der Vorkammer und einem Innenraum des Behälters bildet, wobei die Vorkammer eine im wesentlichen parallel zu einer Wand des Behälters verlaufende Seitenwand aufweist, und einen Einlaß-Anschluß in der Seitenwand der Vorkammer, um Dampfgas in einer, im wesentlichen senkrecht zu der Seitenwand und gegen einen gegenüber dem Einlaß-Anschluß angeordneten Bereich der Seitenwand verlaufenden Richtung in die Vorkammer zuzuführen, wobei dadurch Turbulenz innerhalb der Vorkammer bewirkt wird.
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