发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Drahtbonden
摘要 Hauptaufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Drahtbonden zu schaffen, die derart verbessert ist, dass ein Metall-Haardraht in Normallage mit einer Bondinganschlussfläche eines IC-Chips verbunden werden kann, so dass zum Zeitpunkt des Bondens keine Lageveränderungen der Chipanschlussfläche und des IC-Chips vorliegen. Eine Platte (6) ist auf einem Wärmeblock (16) entsprechend der Form eines IC-Leitungsrahmens (7) angebracht, um die Wärmeleitungsoberfläche zu vergrößern. Ein Wärmelement (2a) zum Erwärmen eines IC-Chips (1) und ein Vorwärmelement (2b) zum Vorwärmen eines IC-Chips (1), der als nächster erwärmt werden soll, sind auf der Oberfläche der Platte (6) angebracht.
申请公布号 DE10139322(A1) 申请公布日期 2002.06.13
申请号 DE2001139322 申请日期 2001.08.10
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 KAWASHIMO, HIROSHI
分类号 H01L21/60;B23K20/10;H05K13/06 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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