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发明名称 SCHNELLES WÄRMEBEHANDLUNGSSYSTEM MIT GASANGETRIEBENEM DREHBAREM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE69805327(D1) 申请公布日期 2002.06.13
申请号 DE19986005327 申请日期 1998.11.18
申请人 STEAG RTP SYSTEMS GMBH 发明人 ASCHNER, HELMUT;HAUKE, ANDREAS;WALK, ULRICH;ZERNICKEL, DIETER
分类号 H01L21/205;C23C16/458;C23C16/48;C30B31/12;C30B31/14;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/324;C30B25/10;C30B25/12 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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