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发明名称
Mustererzeugungsverfahren und Oberflächenbehandlungsmittel
摘要
申请公布号
DE69709287(T2)
申请公布日期
2002.06.13
申请号
DE19976009287T
申请日期
1997.09.10
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人
ENDO, MASAYUKI;OHSAKI, HIROMI
分类号
G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075
主分类号
G03F7/075
代理机构
代理人
主权项
地址
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