发明名称 Mustererzeugungsverfahren und Oberflächenbehandlungsmittel
摘要
申请公布号 DE69709287(T2) 申请公布日期 2002.06.13
申请号 DE19976009287T 申请日期 1997.09.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 ENDO, MASAYUKI;OHSAKI, HIROMI
分类号 G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
主权项
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