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<p>Dargestellt und beschrieben sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung globulärer Körner aus Reinst-Silizium durch Zerstäuben einer Siliziumschmelze (6) in einem Ultraschallfeld (10) mit denen globuläre Körner mit einer Korngrösse von 50 νm, die als Saatgut zur Abscheidung von Reinst-Silizium aus Silan im Wirbelbett verwendet werden können, erzeugt werden. Dazu wird die Siliziumschmelze (6) mit einem Abstand von <50 mm zu einem Feldknoten in das Ultraschallfeld (10) aufgegeben, wobei das zerstäubte Silizium das Ultraschallfeld (10) mit einer Temperatur nahe des Liquiduspunktes verlässt. Des weiteren ist eine Verwendung des gemäss dem Verfahren oder mit der Vorrichtung erzeugten Produkts als Saatpartikeln zur Herstellung von hochreinem Silizium aus Silan in einem Wirbelbett beschrieben.</p> |
