发明名称 VERFAHREN ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE59804075(D1) 申请公布日期 2002.06.13
申请号 DE19985004075 申请日期 1998.08.27
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 BIEBL, ULRICH;OSHINOWO, JOHN
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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