| 摘要 |
<p>L'invention concerne des esters de (méth)acrylate représentés par la formule générale (I). Ces esters peuvent être produits par obtention d'un produit d'addition de 1,3-diène et d'anhydride maléique par réaction de Diels-Adler, par réduction dudit produit en lactone, par hydratation de cette lactone en un alcool, et par estérification de cet alcool avec de l'acide (méth)acrylique. Les (co)polymères produits par (co)polymérisation de compositions monomères contenant les esters de (méth)acrylate présentent une grande transparence, une résistance élevée à l'attaque au plasma, ainsi qu'une grande solubilité dans des solvants organiques, et ils peuvent être utilisés comme résines dans des compositions de résist amplifiables chimiquement. Dans ladite formule générale (I), R?1, R2, R3 et R4¿ représentent chacun hydrogène, méthyle ou éthyle, l'un des symboles X1 et X2 représente (méth)acryloyoxy et l'autre représente hydrogène, et A1 et A2 représentent tous les deux hydrogène, ou bien A1 et A2 sont réunis pour former -O-, -CH¿2?- ou bien -CH2CH2-.</p> |
