发明名称 Druckerfassungsvorrichtung
摘要 Eine Druckerfassungsvorrichtung mit einer runden, aus Metall hergestellten Membran, um den Druck aufzunehmen, und einem flachen und rechteckigen Sensorchip, der eine (100) Flächenorientierung aufweist. Der Sensorchip ist an der Membran angebracht. Eine Richtung jeder der (110) Kristallachsen auf dem Sensorchip ist mit einem Winkel von 15 bis 37 DEG bezüglich einer Linie parallel zur Seite des Sensorchips versetzt. Dehnmeßstreifenwiderstände sind in der Richtung der (110) Kristallachsen angeordnet. Die Dehnmeßstreifenwiderstände sind symmetrisch zum Mittelpunkt des Sensorchips angeordnet und haben einen Abstand von r vom Mittelpunkt des Sensorchips. Ein Verhältnis r/D1 liegt im Bereich von 0,2 bis 0,7, wobei D1 der Durchmesser der aus Metall hergestellten Membran ist.
申请公布号 DE10127230(A1) 申请公布日期 2002.06.13
申请号 DE20011027230 申请日期 2001.06.05
申请人 DENSO CORP., KARIYA 发明人 TANAKA, HIROAKI;SUZUKI, YASUTOSHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L23/18;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04;B81B3/00;F02M63/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
地址