摘要 |
Eine Druckerfassungsvorrichtung mit einer runden, aus Metall hergestellten Membran, um den Druck aufzunehmen, und einem flachen und rechteckigen Sensorchip, der eine (100) Flächenorientierung aufweist. Der Sensorchip ist an der Membran angebracht. Eine Richtung jeder der (110) Kristallachsen auf dem Sensorchip ist mit einem Winkel von 15 bis 37 DEG bezüglich einer Linie parallel zur Seite des Sensorchips versetzt. Dehnmeßstreifenwiderstände sind in der Richtung der (110) Kristallachsen angeordnet. Die Dehnmeßstreifenwiderstände sind symmetrisch zum Mittelpunkt des Sensorchips angeordnet und haben einen Abstand von r vom Mittelpunkt des Sensorchips. Ein Verhältnis r/D1 liegt im Bereich von 0,2 bis 0,7, wobei D1 der Durchmesser der aus Metall hergestellten Membran ist.
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