| 发明名称 |
Contact exposure device provided with a mask and workpiece interval setting means |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1096320(A3) |
申请公布日期 |
2002.06.12 |
| 申请号 |
EP20000123013 |
申请日期 |
2000.10.23 |
| 申请人 |
USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
OKADA, SYOICHI |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;H05K1/00;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20;H05K3/06 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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