发明名称 SLIDE CYLINDER
摘要 <p>본 발명은 반도체 부품과 같은 소형의 정밀부품이나 이와 유사한 부품의 조립장비에 적용되는 슬라이드 실린더에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 슬라이드 실린더를 구성하는 구성부재의 집약에 의한 전체 부피를 최소화와 제조능률의 향상에 의한 제품의 신뢰도가 극대화되고, 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동을 안내하는 롤러 베어링간의 접촉마찰력감소에 의한 소음의 극소화 및 부드러운 이송의 극대화 장비 운용의 정밀성이 보장되며, 슬라이드 테이블 및 피스톤로드를 상호 연결하는 지지플레이트가 상기 슬라이드테이블과 일체형으로 제공되어 외부에서 작용되는 부하(수직, 수평하중이나 회전 모멘트)에 대하여 안정성을 극대화함에 있다. 본 발명의 상기 목적은 피스톤(2,2)의 직진 왕복운동을 조절하는 행정제어기구(90)가 실린더블록(1)에 내장되도록 하고, 금속제의 롤러베어링(8)의 접촉마찰을 극소화하도록 상기 롤러베어링간(8,8)에 수지재의 스페이서 롤러(81)를 구비하며, 상기 롤러베어링(8,81)의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼를 별도의 부재 설비에 의하지 않고 상기 롤러베어링(8,81)이 이동하는 슬라이더(4)와 가이드레일(6,6)의 베어링 안내홈(41,41)(61,61) 내측 전방과 후방에 세팅스크류(42,62)의 세팅에 의하여 구비하고, 슬라이드 테이블(5)과 이 슬라이드 테이블의 주행동작원인 피스톤의 로드(3)를 연결하는 지지플레이트(7)를 일체형으로 구비함에 의하여 달성된다. 이러한 본 발명은 전체적인 부피의 축소화 및 조립성이 뛰어난 효과가 있고, 금속제의 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장, 소음이 극소화 효과가 있으며, 조립장비의 응용에 따라서 취부 지그에 의해 작용되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 충분히 견디도록 구성 부품의 일체화로서 장기적으로 사용수명이 보장되는 효과가 있다.</p>
申请公布号 KR100340342(B1) 申请公布日期 2002.06.12
申请号 KR19990060485 申请日期 1999.12.22
申请人 null, null 发明人 김준홍
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利