发明名称 Stress isolated semiconductive pressure sensor
摘要
申请公布号 EP0676628(B1) 申请公布日期 2002.06.12
申请号 EP19950104487 申请日期 1995.03.27
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 BROWN, CLEM H.;VOWLES, DAVID L.
分类号 G01L9/08;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L9/08
代理机构 代理人
主权项
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