| 发明名称 |
Organic anti-reflective coating polymer,anti-reflective coating composition comprising the same and preparation methods thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2364314(B) |
申请公布日期 |
2002.06.12 |
| 申请号 |
GB20010015795 |
申请日期 |
2001.06.28 |
| 申请人 |
* HYNIX SEMICONDUCTOR INC |
发明人 |
SUNG-EUN * HONG;MIN-HO * JUNG;JAE-CHANG * JUNG;GEUN-SU * LEE;KI-HO * BAIK |
| 分类号 |
G03F7/11;C08F220/18;C08F220/36;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):C08F220/36 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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