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发明名称 Semiconductor processing system and method for controlling moisture level therein
摘要
申请公布号 EP1195450(A3) 申请公布日期 2002.06.12
申请号 EP20010402470 申请日期 2001.09.26
申请人 L'AIR LIQUIDE, S.A. A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 GIRARD, JEAN-MARC;JURCIK, BENJAMIN;FRIEDT, JEAN;MCANDREW, JAMES J. F.
分类号 G01N21/35;C23C8/16;C30B33/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23C8/16;H01L21/00 主分类号 G01N21/35
代理机构 代理人
主权项
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