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发明名称 INDUCTIVELY COUPLED RING-PLASMA SOURCE APPARATUS FOR PROCESSING GASES AND MATERIALS AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 EP1212775(A1) 申请公布日期 2002.06.12
申请号 EP20000965596 申请日期 2000.08.07
申请人 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. 发明人 MAHONEY, LEONARD, J.;ROCHE, GREGORY, A.;CARTER, DANIEL, C.
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J7/24;H05B31/26 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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