发明名称 Method and apparatus for imaging a surface potential
摘要
申请公布号 EP1049132(B1) 申请公布日期 2002.06.12
申请号 EP19990106654 申请日期 1999.03.31
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 FROSIEN, JUERGEN DR.
分类号 G01B15/00;G01B15/04;G01N23/225;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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