用于半导体器件的超净室

摘要

一种超净室1,包括一个设备安装区域3(3a至3h),在其中安装有用于处理要被处理的物件的设备;一个处理区域4,在其中所述物件被装载到设备中或从设备卸下;和一个操作区域2,在其中操作设备。设备安装区域3、处理区域4和操作区域2按上述次序水平地布置并且由隔板42和43相互分隔。这些区域3、4和2是相互独立地进行空气调节的。于是,超净室1可防止物件的污染并且降低超净室中的化学过滤器的运作成本。

主权项

1.一种超净室，包括：一个设备安装区域，在其中安装有用于处理要被处理的物件的设备；一个处理区域，在其中要被处理的物件被装载到所述设备中或从所述设备卸下；和一个操作区域，在其中操作设备，其中，所述设备安装区域、所述处理区域和所述操作区域按上述次序如此水平地布置，使得由隔板而被相互分隔，并且，其中，所述设备安装区域、所述处理区域和所述操作区域是相互独立地进行空气调节的。