用于集成电路的电感器

摘要

一种在极高频率应用的集成到VLSI和ULSI技术产品中的电感器。它是以微带传输线构形,被设计成直线、螺旋线或曲线形式。通过在传输线的一端使微带中心导体短接到下级接地平面,形成电感器。结果是,对于给定的传输线设计,和在特定频率范围内,在工作设计范围内电感与频率无关。微带传输线提供能用在具有低或高电阻率的任何类型衬底上的电感。该微带传输线可利用两层或全部金属布线层技术,容许电感的宽范围和质量因数设计折衷方案。采用有低的相对介电常数的绝缘层,实现系统进一步的增强。在从约8GHz延伸到约35GHz的频率范围内,该系统的电感在10%以内恒定。这个电感器系统容许通过几个参数进行最佳设计,以实现所需性能。

主权项

1、一种半导体器件，包括：半导体衬底；在所述衬底的预定区域上延伸的接地平面；微带传输线，具有与所述接地平面绝缘隔开且与所述接地平面平行的第一和第二端；所述微带传输线用低电阻分路器在一端被端接；和连接到所述接地平面和所述微带传输线的另一端的电路；因此对于1千兆赫以上的频率所述微带传输线和所述接地平面的电特性对所述电路起电感器的作用。