| 摘要 |
<p>노광장치는, 스테이지가 완전히 정지하기 전에 소정의 관측기간동안에 웨이퍼위에 형성된 마크의 평균위치를 측정하는 촬상부와 촬상제어부와, 관측기간동안에 스테이지의 임의의 편차를 측정하는 간섭계와, 메모리내의 간섭계에 의한 측정결과를 기억하고 측정결과에 의거하여 스테이지의 평균편차를 산출하는 스테이지편차기억부 및 마크의 평균편차와 스테이지의 평균편차에 의거하여, 스테이지가 정지하는 동안에 마크의 실제위치를 산출하는 이동량산출부를 구비하고 있다.</p> |
