雷射光聚光方法

摘要

本发明之目的在于提供一种雷射聚光光学装置，可消除雷射光之光路径差所造成波面像差，俾获得高聚光特性，即使在射入雷射光有光轴偏移，亦可维持该高聚光特性，且藉由该容易加工之反射镜，制作成本极为经济。构造上，该雷射聚光光学装置系由凹面反射镜之第一反射镜1和第二反射镜2之组合所构成，射入雷射光LA被该2个反射镜反射偏向成具有相同之偏向方向。反射镜之一方为环形反射镜，另外一方为球面，圆柱，或环形之反射镜其中之一。该二反射镜之镜面之形状令第一反射镜所反射偏向之雷射光与第二反射镜所反射偏向之2波面像差相互抵销。

主权项

1.一种雷射光聚光方法,用来对雷射光进行聚光,其特征在于:藉第一凹面反射镜使射入之雷射光反射偏向,藉第二凹面反射镜令该反射光沿相同于第一反射镜之偏向方向反射偏向,使该第一及第二反射镜中之任一方为环形镜,另一方为球面镜、柱面镜及环形镜中之任一个,且该各个反射镜之曲面组合成令第一反射镜所产生反射光之光路径差为第二反射镜所抵消,并令第二反射镜之反射光之波面像差变成最小的曲面。图式简单说明:图1是实施例雷射聚光光学装置之剖面图。图2是环形,球面,圆柱反射镜之概略图。图3是作用之说明图。图4是选用使聚光,波面像差成为最小之曲面之计算过程说明图。图5是利用球面和环形反射镜组合之波面像差分布图。图6是利用圆柱和环形反射镜组合之波面像差分布图。图7是利用环形和环形反射镜组合之波面像差分布图。图8表示射入雷射光光轴偏移量与聚光点直径之变化。