| 发明名称 |
Belichtungsapparatur mit geladenem Teilchenstrahl |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19932014(C2) |
申请公布日期 |
2002.06.06 |
| 申请号 |
DE19991032014 |
申请日期 |
1999.07.02 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
SETO, ISAMU |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/26;(IPC1-7):H01J37/304;H01J37/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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