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发明名称 Elektrodenstrukturierung für einen Differential-PZT-Aktuator
摘要
申请公布号 DE10084495(T1) 申请公布日期 2002.06.06
申请号 DE2000184495T 申请日期 2000.04.20
申请人 SEAGATE TECHNOLOGY LLC, SCOTTS VALLEY 发明人 WRIGHT, JOHN STUART;BOUTAGHOU, ZINE-EDDINE
分类号 H01L41/047;H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/00 主分类号 H01L41/047
代理机构 代理人
主权项
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