发明名称 Halbleitereinrichtung zur Druckerfassung
摘要
申请公布号 DE4307753(C3) 申请公布日期 2002.06.06
申请号 DE19934307753 申请日期 1993.03.11
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 ARAKI, TOHRU
分类号 G01B7/00;G01B7/16;G01D3/028;G01L9/00;G01L9/04;G01L9/06;G01L19/04;H01L29/84;(IPC1-7):H01L27/20;H01L41/113 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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