发明名称 |
Halbleitereinrichtung zur Druckerfassung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE4307753(C3) |
申请公布日期 |
2002.06.06 |
申请号 |
DE19934307753 |
申请日期 |
1993.03.11 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
ARAKI, TOHRU |
分类号 |
G01B7/00;G01B7/16;G01D3/028;G01L9/00;G01L9/04;G01L9/06;G01L19/04;H01L29/84;(IPC1-7):H01L27/20;H01L41/113 |
主分类号 |
G01B7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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