发明名称 Verfahren zum Fördern der Zerlegung von Siliziumzusammensetzungen in einem Verfahren für die Absätzung von Silizium auf eine Metalloberfläche
摘要
申请公布号 DE69523105(T2) 申请公布日期 2002.06.06
申请号 DE1995623105T 申请日期 1995.08.24
申请人 PHILLIPS PETROLEUM CO., BARTLESVILLE 发明人 REED, LARRY E.;BROWN, RONALD E.;DEGRAFFENRIED, JAMES P.;MURTHA, TIMOTHY P.;GREENWOOD, GIL J.;HARPER, TIMOTHY P.;SCHARRE, MARK D.
分类号 C01B33/02;C10G9/16;C23C18/12;(IPC1-7):C10G9/16 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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