Tester für integrierte Halbleiterschaltungen und Verfahren zum Testen integrierter Halbleiterschaltungen

摘要

Es wird ein Tester für integrierte Halbleiterschaltungen geschaffen, der in einer integrierten Mischsignal-Halbleiterschaltung (11) mit einer A/D-Umsetzerschaltung (52) und mit einer D/A-Umsetzerschaltung (52) eine A/D-Umsetzerschaltung (51) und eine D/A-Umsetzerschaltung (52) mit hoher Genauigkeit und mit hoher Geschwindigkeit testen kann. In der Nähe einer Testschaltungsplatine (10, 10A), auf der eine zu testende integrierte Halbleiterschaltung (11) angebracht ist, ist eine Testhilfsvorrichtung (20) vorgesehen. Die Testhilfsvorrichtung (20) umfaßt eine Datenschaltung (63) zum Liefern analoger Testsignale an die A/D-Umsetzerschaltung (51) der zu testenden integrierten Halbleiterschaltung (11) und digitaler Testsignale an deren D/A-Umsetzerschaltung (52), einen Meßdatenspeicher (66) zum Speichern von Testausgangssignalen von der zu testenden integrierten Halbleiterschaltung (11) und einen Analysatorabschnitt (69) zum Analysieren der in dem Meßdatenspeicher (66) gespeicherten Daten.