发明名称 Interferometrische Messvorrichtung
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zum Messen von Oberflächenkenngrößen, Formen, Abständen, Abstandsänderungen, z. B. Schwingungen, von Messobjekten (7) mit einem Sondenteil (6). Eine hinsichtlich der Handhabung und einer störungsfreien Abtastung günstige Ausbildung besteht darin, dass der Sondenteil (6) in einen feststehenden Sondenteil (6.1) und einen mit diesem mechanisch und optisch gekoppelten rotierbaren Sondenteil (6.2) unterteilt ist und dass ein Strahlteiler (6.3; 6.3') zum Erzeugen eines Referenzstrahls und eines Messstrahls für die interferometrische Messung in dem rotierbaren Sondenteil (6.2) angeordnet ist (Fig. 1).
申请公布号 DE10057540(A1) 申请公布日期 2002.06.06
申请号 DE2000157540 申请日期 2000.11.20
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 DRABAREK, PAWEL
分类号 G01B9/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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