| 发明名称 |
Verfahren zum Fabrizieren eines integrierten Drucksensors |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE4239132(C2) |
申请公布日期 |
2002.06.06 |
| 申请号 |
DE19924239132 |
申请日期 |
1992.11.20 |
| 申请人 |
DENSO CORP., KARIYA |
发明人 |
IKEDA, KAZUHISA;KOGA, KAZUHIKO |
| 分类号 |
G01L9/00;G01L27/00;(IPC1-7):G01L9/06;H01L21/66;H01L27/20;H01L21/78 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
