发明名称 INTEGRIERT-OPTISCHER,INTERFEROMETRISCHER SENSOR
摘要
申请公布号 DE69621031(D1) 申请公布日期 2002.06.06
申请号 DE19966021031 申请日期 1996.09.27
申请人 GEORGIA TECH RESEARCH CORP., ATLANTA 发明人 HARTMAN, F.
分类号 G01B9/02;G01J9/02;G01N21/45;G01N21/77;G02B6/122;(IPC1-7):G01N21/45 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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