发明名称 |
A method for detecting crystal defects in a silicon single crystal substrate |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0796933(B1) |
申请公布日期 |
2002.06.05 |
申请号 |
EP19970104611 |
申请日期 |
1997.03.18 |
申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED |
发明人 |
MAJIMA, MASAKI |
分类号 |
G01N21/88;C30B33/00;G01N1/32;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):C30B33/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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