DEPOSITION OF FLUOROSILSESQUIOXANE FILMS

摘要

플루오로기가 실세스퀴옥산 케이지의 실리콘 원자에 결합되어 있는 구조를 가진 플루오로 치환된 실세스퀴옥산 박막의 어레이가 제공된다. 제 1 측면에서, 본 발명은 화학식 [F-SiO][H-SiO](여기서, x+y=n, n은 2 내지 30의 정수, x는 1 내지 n의 정수, y는 0 내지 n의 정수)를 갖는 기화된 물질을 포함하는 조성물을 제공한다. 또한, 이러한 전구체로부터 제조된 막과 이들 막을 포함하는 물건이 제공된다.