| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING A PVD OR CVD REACTOR AND WASTE-GAS LINES OF THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1210468(A1) |
申请公布日期 |
2002.06.05 |
| 申请号 |
EP20010953989 |
申请日期 |
2001.06.21 |
| 申请人 |
MESSER GRIESHEIM GMBH |
发明人 |
DONNERHACK, ANDREAS;REIMANN, BRUNO |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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