发明名称 APPARATUS FOR ELECTRICAL TESTING OF A SUBSTRATE HAVING A PLURALITY OF TERMINALS
摘要
申请公布号 EP1210612(A1) 申请公布日期 2002.06.05
申请号 EP20000947051 申请日期 2000.07.05
申请人 ELECTROGLAS, INC. 发明人 COLBY, PAUL, C.
分类号 G01R1/06;G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/26;G01R31/316 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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