| 发明名称 |
POLYMERS CONTAINING OXYGEN AND SULFUR ALICYCLIC UNITS AND PHOTORESIST COMPOSITIONS COMPRISING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1210650(A1) |
申请公布日期 |
2002.06.05 |
| 申请号 |
EP20010933209 |
申请日期 |
2001.05.08 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY LLC |
发明人 |
BARCLAY, GEORGE, G.;YUEH, WANG |
| 分类号 |
G03F7/039;C08F220/10;C08F220/18;C08F232/08;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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