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发明名称 SHAPED AND LOW DENSITY FOCUSED ION BEAMS
摘要
申请公布号 EP1210723(A1) 申请公布日期 2002.06.05
申请号 EP20010903662 申请日期 2001.01.19
申请人 FEI COMPANY;FEI CO 发明人 GERLACH, ROBERT, L.;UTLAUT, MARK, W.;TESCH, PAUL, P.;YOUNG, RICHARD, J.;CHANDLER, CLIVE, D.;VAN DER MAST, KARL, D.
分类号 C23C14/32;G01Q70/14;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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