| 摘要 |
一种双绝缘层薄膜场发射阴极,属于真空电子发射型平板显示器件技术领域,特别涉及一种薄膜场发射阴极。本发明包含玻璃基板、下电极层、绝缘层和上电极层,其中绝缘层是由上下两层绝缘薄膜构成。通常,下绝缘层是非结晶绝缘薄膜,上绝缘层是结晶绝缘薄膜。下电极层可以由双层金属薄膜构成,也可以由金属和半导体双层薄膜构成;上电极层可以由双层金属薄膜构成,也可以由金属和半导体双层薄膜构成。本发明的薄膜场发射阴极解决了现有技术中发射电流小的问题,电子发射率大于0.5%,满足了高亮度场发射平板显示器件的使用要求,同时,器件电容较低,器件中非晶薄膜耐压较高,寿命长,达到实用水平。 |
