Device for non-contact measuring of positon and displacement,申请号EP19980400519-传众专利搜索

发明名称	Device for non-contact measuring of positon and displacement
摘要
申请公布号	EP0877231(B1)	申请公布日期	2002.06.05
申请号	EP19980400519	申请日期	1998.03.04
申请人	VISHAY S.A.	发明人	FLASSAYER, CLAUDE
分类号	G01D5/30;G01B11/00;G01D5/165;G01D5/26;H01L31/02;H01L31/16;(IPC1-7):G01D5/26	主分类号	G01D5/30
代理机构		代理人
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