发明名称
摘要
申请公布号 JP2002516484(A) 申请公布日期 2002.06.04
申请号 JP20000550137 申请日期 1999.05.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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