发明名称
摘要
申请公布号 JP3287982(B2) 申请公布日期 2002.06.04
申请号 JP19950231459 申请日期 1995.09.08
申请人 发明人
分类号 H01L27/14;G02B6/122;H01L21/70;H01L27/15;(IPC1-7):H01L27/14 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人
主权项
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