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发明名称 DEVICE FOR CLEANING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JP2002159927(A) 申请公布日期 2002.06.04
申请号 JP20000359708 申请日期 2000.11.27
申请人 ISHII HYOKI CORP 发明人 NAKANO TERUYUKI
分类号 B08B7/04;B08B1/04;B08B3/02;B25J15/08;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B08B7/04 主分类号 B08B7/04
代理机构 代理人
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