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发明名称
摘要
申请公布号	JP2002516413(A)	申请公布日期	2002.06.04
申请号	JP20000550001	申请日期	1999.05.05
申请人		发明人
分类号	G03F7/075;C08K3/00;C08L101/00;G03F7/004;H01J9/02;H01J11/02;(IPC1-7):G03F7/075	主分类号	G03F7/075
代理机构		代理人
主权项
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