| 主权项 |
1.一种化学气相沈积机台之过滤器,该过滤器包括:一过滤器本体,该过滤器本体具有一进气口与一出气口;以及一滤心,该滤心设置于该过滤器本体中,且该滤心之一端与该进气口连通,另一端则与该出气口连通,该滤心内具有复数个隔板,且每一该些隔板上皆具有复数个孔洞。2.如申请专利范围第1项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中每一该些隔板之面积皆小于该滤心之剖面面积。3.如申请专利范围第2项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该些隔板系以交错排列之方式设置于该滤心中。4.如申请专利范围第1项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该滤心内更包括一气体导流板设置于该过滤器本体之该进气口附近。5.如申请专利范围第4项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该气体导流板与该过滤器本体之该进气口成一角度,使得气体经由该过滤器本体之该进气口进入该滤心内部时,可以转变方向。6.如申请专利范围第5项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该角度为30度至75度。7.如申请专利范围第1项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该过滤器本体之形状为筒状。8.如申请专利范围第1项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该滤心之剖面形状与该过滤器本体之剖面形状相同。9.如申请专利范围第1项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该过滤器本体之形状为圆筒状。10.如申请专利范围第1项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该过滤器本体之形状为四角筒状。11.如申请专利范围第1项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该过滤器本体之形状为六角筒状。12.如申请专利范围第1项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该过滤器本体外壁上更包括一握把。13.一种化学气相沈积机台之过滤器,该过滤器包括:一过滤器本体,该过滤器本体之形状为筒状;一进气口,该进气口设置于该过滤器本体之一第一末端开口部外缘之侧壁上,用以使一气体进入该过滤器本体;一出气口,该出气口设置于该过滤器本体之一第二末端开口部,用以使该气体离开该过滤器本体;一滤心,该滤心设置于该过滤器本体中,且该滤心之一端与该进气口连通,另一端则与该出气口连通,该滤心包括:一气体导流板,该气体导流板设置于该滤心内,并位于该进气口附近,使得气体经由该过滤器本体之该进气口进入该滤心内部时,可以转变方向;复数个隔板,该些隔板以彼此间隔一段距离之方式设置于该滤心中,且该些隔板上具有复数个孔洞;以及一盖子,该盖子系用来密封该过滤器本体之该第一末端开口部。14.如申请专利范围第13项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该些隔板之面积小于该滤心之剖面面积。15.如申请专利范围第14项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该些隔板系以交错排列之方式设置于该滤心中。16.如申请专利范围第13项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该些孔洞之内径系大于该气体中微粒之粒径。17.如申请专利范围第13项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该过滤器本体外壁上更包括一握把。18.如申请专利范围第13项所述之化学气相沈积机台之过滤器,其中该滤心之剖面形状与该过滤器本体之剖面形状相同。图式简单说明:第1图系绘示习知化学气相沈积机台废气处理之排气管路示意图。第2图系绘示本发明之化学气相沈积机台之过滤器剖面示意图。第3图系绘示本发明之过滤器之滤心结构剖面图。第4图系绘示本发明之化学气相沈积机台之过滤器后视图。第5图系绘示本发明较佳实施例之化学气相沈积机台废气处理之排气管路示意图。 |
